干式螺桿真空泵開(kāi)始在20世紀(jì)80年代，最初應(yīng)用與半導(dǎo)體行業(yè)，90年代初期開(kāi)始應(yīng)用于化學(xué)行業(yè)。
它的主要特點(diǎn)如下：

1、對(duì)工藝氣體無(wú)污染

2、沒(méi)有廢水產(chǎn)生

3、沒(méi)有真空油消耗，不產(chǎn)生油煙排放

4、能夠回收被抽介質(zhì)，冷凝回收各種溶劑

5、能達(dá)到更高的真空度

6、維護(hù)量及費(fèi)用低

應(yīng)用工藝：

1.電工：變壓器、互感器、環(huán)氧樹(shù)脂真空澆注、電容器真空浸油、真空壓力浸漬。

2.工業(yè)爐：真空釬焊、真空燒結(jié)、真空退火、真空加壓氣淬、真空脫羥等。

3.真空鍍膜：真空蒸發(fā)鍍膜、真空磁控濺射鍍膜、薄膜卷繞連續(xù)鍍膜、離子鍍等。

4.冶金：特種鋼冶煉、真空感應(yīng)爐、真空脫硫、脫氣。

5.航空、航天：航天搭載飛船軌道艙、返回艙、火箭姿態(tài)調(diào)整艙、宇航服、宇航員太空出艙、飛機(jī)升空等真空模似試驗(yàn)。

6.干燥：變壓法真空干燥、煤油氣箱干燥、木材干燥、蔬菜冷凍干燥。

7.化工、制藥：產(chǎn)品蒸餾、干燥、脫氣、物料輸送等。